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半导体和光伏

结构化基板广泛应用于半导体和光伏的研发。对器件质量和可靠性的高要求使得对此类器件结构的固有应变和晶体特性的详细了解变得越来越重要。WITec成像技术提供了全面分析样品的化学和物理特征的机会。

WITec成像系统提供了广泛的成像技术,可以在一台显微镜中灵活组合,以显著增加测量结果提供的洞察力。共聚焦拉曼成像提供化学信息,AFM检测样品表面的地形、结构和物理性质,如刚度、附着力等,SNOM高分辨率测量可以通过光学达到衍射极限。所有WITec仪器配置可以在任何点升级,以适应新的或扩展的需求。


应用实例

LT GaAs样品的RISE显微镜(Raman-SEM)。拉曼图像叠加在扫描电镜图像上。拉曼图像:黄色:金衬底;红色:砷化镓。50 x 50µm²,300 x 300像素= 90000个光谱,每个光谱的积分时间为34 ms。
在硅太阳能电池器件上激光钻孔周围的硅应力图。
GaN层结构的Raman-SEM图像。上图:SEM图像;中:x-y方向共焦拉曼图像;下:三维共焦拉曼图像。
集成电路的AFM图像。
同一样品区域在晶圆上三个不同位置的拉曼和AFM图像。

文学

应用说明半导体材料

第三组氮化物和3D拉曼

应用说明太阳能电池

时间分辨PL测量


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