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新白皮书

量子器件的原子层沉积

在这篇白皮书中,我们概述了用于制造量子器件的原子层沉积(ALD)。ALD对薄膜沉积有许多好处,如一致性,精确的厚度和电导率控制。

量子白皮书的ALD

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