牛津仪器的宽温度范围电极在设计上做了重大改进。狗万正网地址
电极重新设计升级的特点
- 在整个温度范围内(-150ºC至+400ºC)提高电极的结构强度
提供电极的改进的尺寸稳定性，保持上表面的平坦度并因此与晶片一起和从晶片的热传递
- 加热元件升级至2kW
向电极提供更多的热量，从而减少温度上升时间，增加元件寿命，并改善上表面的温度均匀性
- 设计允许配合两个温度探头
温度控制和超限温度“看门狗”规定
- 增加电极内的流体流量
提高了晶圆的冷却性能，允许采用更广泛的加工参数
- 改性DC偏置能力的温度探头
直流偏置能力的处理窗口从以前设计的500V上限提高到1kV
牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
