在PlasmaPro 100 PECVD和Nanofab上，TEOS液位传感可作为现有TEOS液体输送模块的升级。
使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感。牛津仪器软件读取三个水平位置，并在屏幕上显示一个清晰的水平指示。狗万正网地址
好处:
- 在PC2000软件上显示TEOS易拉罐的清晰预警。
- 如果TEOS用完，活动进程将自动停止。日志文件显示时间运行和剩余时间，以处理新罐安装。
- 允许计算TEOS的使用
- 将快速气体流动对基材造成的颗粒污染降至最低
- 罐阀从手动阀改为气动阀，以实现更大的用户健壮性和更自动化的操作。
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