软泵和软排气功能升级

这种软泵的升级允许缓慢的抽真空室，其目的是尽可能减少基材上的颗粒添加，这可能会受到快速气体流动的干扰。

这对于负载锁定和开启负载过程室都是有价值的，因为软泵将延长泵下时间几分钟。

特点和优点:

手动排气设定点(仅开启负载系统)
自动排气操作
慢泵功能可从前端软件选择
将快速气体流动对基材造成的颗粒污染降至最低
最大限度地减少由于气体快速流动造成的不必要的衬底移动

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带有软泵升级的IonFab 300

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