将您的系统连接到secs gem工厂自动化软件

使您的等离子工具可以合并到您的SECS GEM HOST软件方案中
监控和控制每种工具的产品和工具状态
允许该工具完全包含在您当前所有的工厂自动化功能中，如SPC，预防性维护调度，事件通知等

SECS GEM升级功能:

工业标准协议-直接将设备集成到现有的GEM-SECS HOST工作流程中
减少操作失误的机会-由工厂主机自动控制设备从设备到主机对系统状态和配方执行状态的自动实时反馈
支持200mm SEMI标准E4, E5, E30, E37

自动化

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