牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
扩大

升级到PTIQ

PTIQ是针对PlasmaPro, Plasmalab和Atomfab加工设备的最新智能软件解决方案。

  • 卓越的响应系统控制水平
  • 优化系统和流程性能
  • 用户友好的设计
下载手册
要求报价

智能软件。强大的解决方案。

升级至最佳性能

PTIQ是利用等离子技术系统的最新软件创新。推出以取代PCx系列软件应用程序,其现代化的设计和强大的功能集极大地改善了用户/所有权的体验,全新万博电脑网页版登录的架构为所有未来的发展提供了坚实的基础。随着对系统/硬件的支持(覆盖率)的增加,以及新功能的添加,PTIQ将越来越多地代表等离子技术产品的核心价值主张。

注意:我们遇到了PTIQ软件的bug问题。此问题仅限于非常特定的配方编辑类型,因此大多数客户不会遇到此问题。请点击在这里帮助您调试问题。

PTIQ优于PCx的优点

用户友好的设计

  • 现代用户界面设计,提高生产力。
  • 从头重建的新架构使大量未来创新成为可能,例如高级分析和系统诊断,它们将比以往任何时候都更深入地了解系统性能

改进操作和个性化

  • 改进的错误报告,包括主动设备联锁和故障排除指南
  • 校准设备读取回,如压力读数,以提高工艺重复性的准确性
  • 用更强大的设备控制(包括“hold”和“force”)取代了服务模式,以增加灵活性
  • 单一集成的应用程序,允许页面之间的超链接
  • 服务模式更换允许手动控制联锁活
  • 个性化功能提高了定制和效率
PTIQ屏幕布局

PTIQ屏幕布局


提高准确性

  • 内部运行在精确的10ms同步时钟无抖动控制,节拍输出和示波器似的测量
  • 日常维护程序可以记录并在改进的配方结构中运行

特性

菜谱的功能

  • 现在可以按步骤定义公差值,从而对流程进行更精细的控制
  • 同时编辑多个食谱
  • 剪切,复制和粘贴整个食谱或部分食谱
  • 整个食谱可在一页上查看
  • 能够在配方过程中改变腔室选项(晶圆提升,工作台提升,ESC等)

附加功能

  • 强大而灵活的调度,通过基于路由的逻辑和改进的多室访问、返回负载站、晶圆间和晶圆对齐操作的逻辑来提高处理效率
  • 可以图形化地创建复杂的晶圆路线,多个腔室访问,返回负载站和晶圆间操作
  • 保证100 Hz采样频率,显著提高了PCx的4 Hz变频,提供了对高频过程和不稳定性(例如,直流偏置开关)以及ALD/ALE中以前未观察到的参数转变的深入了解

升级到PTIQ

如果您当前运行的系统使用PC2000或PC4500,并且希望升级到PTIQ,我们有几种可用的升级路径。

我们也有站点范围的PTIQ升级计划;您可以以折扣价升级整个网站,以确保软件支持的连续性。

*PTIQ升级目前在FlexAL或Ionfab平台上不可用。

**系统升级资格将根据具体情况进行评估,但您可以使用这里的资格检查器来开始。

下载手册


在PTIQ中调试

我们正在经历PTIQ控制软件的错误问题。该问题影响到截至2021.13.02的所有PTIQ版本。此问题仅限于非常特定的配方编辑类型(在配方步骤中使用子步骤),因此大多数客户不会遇到此问题。请点击这里将帮助您调试问题

常见问题

为了升级到PTIQ,我们需要进行哪些硬件升级?

这将根据具体情况进行评估。某些系统类型,特别是最新的系统类型,更有可能在不进行额外开发的情况下得到支持。旧的系统类型可能缺乏对特定组件的支持,而其他组件可能不完全支持(因此值得考虑更换)。

除了组件级支持外,还需要X20 plc(1584或更高版本),以及8GB的PC内存和1080p显示器。

使用现有的PC4500软件,LogViewer日志文件可以如果手动转移到另一台PC上,则可以在另一台PC上查看。如果远程用户能够更容易地访问数据文件并进行分析,这将非常有用。新软件能提供什么?

我们将很快将Datalog查看器打包为一个独立的产品,以便它可以安装在单独的PC上。我们希望使传输文件的过程更容易。

等离子体系统演示

我们对我们的新软件很有信心,我们想让你看到它的行动!观看我们最新的软件演示。

您将了解升级到PTIQ的好处以及它可以为您做什么。

更多信息来自服务与支持