LN₂自动转换装置，用于表冷却液切换

狗万正网地址牛津仪器公司LN₂自动转换单元，使台面冷却液自动切换液氮(LN)₂)和冷水机流体，通过循环冷水机。该单元可作为我们许多系统的升级，包括具有低温冷却电极的系统。

关键好处:

节省成本和时间
加速冷却温度范围200°C至0°C
完全自动化
当需要快速模式更改时，在节省时延迟
无人/隔夜模式变化

主要特点：

设置范围:-150°C至+400°C(系统100工具)

兼容性和冷却

系统兼容LN2自动转换单元

这种自动转换装置可用于所有新的或现有的Plasmalab/PlasmaPro系统，配有低温表或RIE加热电极。
它也可用于从热桌上吹扫冷冻机流体。

对比表显示了LN2热表辅助和非辅助冷却，提供了可靠的时间和成本节省

对比表显示了热表辅助和非辅助冷却，提供了可靠的时间和成本节省

LN2转换单元

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