轻塔升级，便于系统状态监控

主要特点*:

所示的多重状态:
- 过程开始
- 备用
- 系统准备通气
- 发泄完
- 系统需要客户干预
三盏灯——红色、琥珀色和绿色
安装在工具上方，几乎从所有角度都可以看到。

它节省了您的时间，特别是如果您可以在不进入洁净室本身的情况下查看。

好处:

执行工具状态的快速可视化检查
查看工具状态而不查看软件
流程一结束就查出来
问题的即时可视化通知

请注意:如果使用PlasmaPro 80,800或100，此光塔升级仅适用于X20软件。

添加一个光塔

要求定价联系我们