离子束防污染屏蔽

新的防污染屏蔽(ACS)消除了蚀刻源的过程中或交织清洗/调节的需要，在给定的配方中同时使用蚀刻和沉积源，从而获得更高的吞吐量。Ionfab的防污染屏蔽(ACS)有两个主要功能:

防止和/或减少Ionfab靶溅射材料沉积到30cm蚀刻源网格上。
防止和/或减少在离子束沉积(IBD)过程中由于外来材料(即从室内家具)溅射而沉积在基材上的膜的潜在污染。它的设计主要是为了防止材料从后壁/衬垫溅射，因为周围的离子束从目标溢出，到达基板。

Ionfab的防污染屏蔽-牛津仪器狗万正网地址

好处

显著减少蚀刻网格再沉积
减少腐蚀源污染
减少网格之间的薄片
增加网格清洗之间的平均清洗时间
减少工具停机时间

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要求定价

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