集成气舱升级，多达4个额外的线路

扩展工具的功能。通过添加不同的无毒气体，新工艺成为可能。这意味着即使您的外部气体舱处于满负荷状态，您也可以向工具中添加更多气体，从而实现更大范围的工艺或MFC流量范围。