主要特点:
- HMT模式用于高压操作到4 x 10-3 mbar (3 m Torr)
- RGA模式高灵敏度操作到10-13 mbar (7.5 x 10-14 Torr)
- 100amu质量范围
- 24小时稳定性优于+/- 1%
- 快速访问混合模式扫描
- 实时背景减法
- 提供专用的win7 PC，允许实时进程监控
好处:
- 通过监测清洁度指纹和测量污染来增加重现性
- 测量工艺气体的比例，并与mfc进行比较，以提高精度
- 通过观察表面反应的挥发性产物来深入了解化学
这是一个很好的工具:
- 退火周期
- 监测泵的性能
- 泄漏检测
- 虚拟泄漏/解吸
- 除气的研究
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