狗万正网地址Oxford Instruments的Gas Pods有能力合并额外的气体管道，使用户具有很大的灵活性。随着用户需求的变化，可以添加额外的行。
好处
- 可容纳有毒和无毒气体
- 适用于所有牛津仪器公司的Plasma狗万正网地址Pro系统(Ionfab工具升级单独审查资格)
- 最多可容纳12条气体管道(取决于气体舱的配置)
- 安装快捷方便
- 可以安装最新版本的MFC (Mass Flow Controllers)
- 更大的灵活性，增加不同类型的工艺可用于每个工艺室的范围
- 行业标准MFC安装意味着可以安装不同制造商的MFC
牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
