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升级
双厘米表开关
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增加了双厘米仪表开关的灵活性

升级提供了通过单个压力控制阀使用两个不同范围的电容压力计的能力，并根据压力自动切换压力表的使用。

好处

  • 压力控制范围更大
  • 维护决议
  • 在前端GUI上的单压力设定点
  • 灵活的仪表配置
  • 提高了ICPCVD过程的传热效率
  • 增加流程灵活性
显示双CM仪表开关升级性能的图表 要求定价 联系我们

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