用于等离子系统的条形码阅读器软件

• 快速准确地记录晶圆细节
• 完全消除了跟踪晶圆批次时的用户错误。
• 可定制的软件，以匹配您的条码要求
• 将设备纳入您的条码方案
• 自动选择食谱
• 准确和快速的晶圆批量活动
• 数据是快速可用的，访问您的晶圆立即
  
  

集成特性

• 允许操作人员使用条形码扫描仪输入批次/批号和配方信息，而不需要键盘输入
• 在输入批/批号和配方信息时减少操作人员的错误，并促进与工厂自动化系统的集成
• 增加操作员在输入信息到系统时的吞吐量
• 降低操作错误率
• 可在所有PC200/PC4500系统上使用
• 在PC3000/PC3500系统上不可用
• 使用条形码扫描器输入单个批次所需的信息
• 根据客户要求和工具类型输入批次名称、批次名称、配方名称、晶圆名称