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我们想要通知客户，先进能源，我们的发电机的制造商已经宣布一些单位淘汰，我们能够提供优质的更换。
先进的能源发电机是牛津仪器高频（HF）RIE，ICP和溅射过程的最新构建规范。狗万正网地址尽管使用数字控制和相位同步，但提供了更高的可靠性和更高的等离子体稳定性。
| 过时的单位 | 新选项 | 特征 |
| RFG 1251. | 派拉蒙1.5千瓦基础发电机 | 13.56 MHz，<10ms曲调时间，功率精度±1 W或设定点的±1％，以较大者为准。 |
| RFG 3001 | 派拉蒙3KW发电机 | 13.56 MHz， <10ms调谐时间，±1 W或设定值的±1%，取较大值。 |
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