等离子体设备培训

详细地检查和探索系统的各种硬件模块、软件诊断选项和电气原理图。

你将学习:

• 在维护之前对工具性能进行基准测试
• 如何执行基本技能，如返回AMU
• 如何使用服务模式识别和隔离硬件问题
• 欣赏联锁方案并适当解释报警信号

离子设备培训

你将学习:

• 基本的系统健康检查和基准测试
  工具的性能
• 软件的源控制器，状态和错误代码
• 关于离子源和中和剂
• 故障诊断示例场景和正确解释告警信号

等离子体维护培训

你将学习:

• 如何测试工具性能并对等离子系统进行健康检查
• 等离子体平台电极和源的拆卸和重建。
• 主要硬件模块及内部电气结构
• 联锁方案的理论单元，PLC和RF
• 如何利用日志查看器和诊断查看器来识别故障硬件
• 对样品支架进行全面检查
• 在一系列预先设定的故障场景中练习诊断技能

课程可以根据学员的背景、经验和需要进行调整。

离子束维修培训

你将学习:

• 如何对工具性能进行基准测试，并对离子束系统进行健康检查
• 离子束平台离子源、中和器和栅格的拆卸与重建。
• 离子束机械标准安全电路
• 如何利用日志查看器和诊断查看器来识别故障硬件
• 如何在一系列预先设定的故障场景中练习诊断技能

根据参加培训的人员的需要和经验，还可以增加额外的培训单位。