地点：
格勒诺布尔，法国
万博手机登录网出席会议的企业：
等离子体技术、纳米科学
牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
PlasmaPro 800的直径为460mm，可提供完整的300mm或大批量43 × 50mm(2”)产能，实现全面的生产解决方案，并使PlasmaPro 800成为经过充分验证的市场领先产品。
PlasmaPro 800为化合物半导体、光电子和光电子应用提供了最大的工艺灵活性，它提供：万博电脑网页版登录
大的电极-低拥有成本
蚀刻终点检测—可靠性和可服务性
通过激光干涉测量和/或光学发射光谱进行端点检测-可安装加强蚀刻控制
4线、8线或12线气舱的选项-在工艺和工艺气体方面提供灵活性，可远程安装在服务区，远离主工艺工具
紧密耦合涡轮泵-泵送速度快，基压好
数据采集-腔室和工艺条件的可追溯性和历史
流体冷却和/或电加热电极优良的电极温度控制和稳定性
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