PlasmaPro 80是一款紧凑、占地面积小的系统，提供多功能的蚀刻和沉积解决方案，可方便地开启加载。它易于现场和易于使用，没有妥协的过程质量。开式加载设计允许快速加载和卸载晶片，是研究、原型和小批量生产的理想选择。它使用优化的电极冷却和优良的基片温度控制实现高性能工艺．
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