地点：
布鲁塞尔，比利时
万博手机登录网参加的企业：
等离子体技术
牛津仪器小组的一部分狗万正网地址
将反应性物种传递到底物，并具有均匀的高电导路径穿过腔室
允许在保持低压的同时使用高气流
可变高电极
利用血浆的3D特性，可容纳最高高度10mm厚的底物
宽温度范围电极（-150°C至 +400°C）
可以通过液氮，液体再循环冷却器或电阻加热来冷却
由重新循环冷却器单元喂养的流体控制电极优异的底物温度控制
RF驱动的淋浴喷头，并提供优化的气体输送
通过LF/RF开关提供均匀的血浆处理，可以精确控制膜应力
ICP源尺寸为65mm，180mm，300mm
提供高达200mm晶片的过程均匀性
高泵能力
给出宽的过程压力窗口
晶圆夹住他的背面冷却
最佳晶圆温度控制
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气荚- 结合额外的气体管线并允许更大的灵活性
LogViewer软件-Datalogging软件允许实时绘图和后运行分析
光学终点检测器- 实现最佳过程结果的重要工具
软泵- 允许慢速抽水真空室
涡轮分子真空泵- 提供较高的抽水速度和更高的吞吐量
X20控制系统- 提供未来的证明，灵活和可靠的工具，并增加了系统的“智力”
先进的能源最重要的发电机- 提供提高的可靠性和更高的血浆稳定性
自动压力控制- 该控制器确保非常快速准确的压力控制
双CM量规切换- 提供通过单个压力控制阀利用两个不同电容压力计的不同范围
LN2自动调节单元- 使桌冷却液自动在液氮（LN2）和冷却器流体之间自动切换
TEOS液位感测- 使用安装在TEOS罐中的超声传感器实现水平传感
宽温度范围电极- 显着的设计改进以提高过程性能
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