地点:
费城，宾夕法尼亚州，美国
万博手机登录网企业参加:
等离子体技术
牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
Cobra®ICP等离子体源产生低压下的高密度活性物质。衬底直流偏压由一个单独的射频发生器驱动，允许根据工艺要求独立控制自由基和离子。
狗万正网地址牛津仪器公司的PlasmaPro 100过程模块提供了一个200mm的平台单片和多片批处理能力。该工艺模块提供高吞吐量，高精度和良好的均匀性，干净光滑的垂直轮廓和蚀刻表面。我们的系统在大批量生产(HVM)中拥有广泛的安装基础，并拥有完善的工艺解决方案。
晶片尺寸:可达200毫米
ICP源尺寸可选:65毫米和300毫米
温度范围:从-150到400°C
集群:多达5个模块，包括ALD, PECVD，离子束蚀刻和离子束沉积等技术
我们与两位来自格拉斯哥大学的研究人员进行了一次信息丰富的交谈，他们分享了他们在大学内最先进的詹姆斯瓦特纳米制造中心(JWNC)无尘室进行的创新项目。
Jharna Paul博士和Valentino Seferai使用牛津仪器的PlasmaP狗万正网地址ro®100 Cobra ICP RIE系统来制造超导量子比特。
＂我们使用牛津仪狗万正网地址器的PlasmaPro 100 Cobra ICP蚀刻系统，因为你可以有效地控制等离子体，功率，气体输送，腔室压力和基板温度。格拉斯哥大学研究助理Jharna Paul博士说
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气体豆荚-安装额外的煤气管道，并允许更大的灵活性
Logviewer软件-数据记录软件允许实时绘图和后运行分析
光学终点检测器-实现最佳工艺结果的重要工具
软泵-允许缓慢泵下真空室
涡轮分子真空泵-提供卓越的泵送速度和更高的吞吐量
控制系统-提供了一个未来的证明，灵活和可靠的工具，增加了系统的“智能”
先进能源派拉蒙发电机-提供更高的可靠性和更大的等离子稳定性
自动压力控制-该控制器确保非常快速和准确的压力控制
双CM表开关-通过一个压力控制阀，可以使用两个不同范围的电容压力计
LN2自动转换装置-使台面冷却液在液氮(LN2)和冷水机之间自动切换
TEOS液位传感-水平感应是使用安装在TEOS罐上的超声波水平传感器来实现的
宽温度范围电极-显著的设计改进，以提高工艺性能
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