地点：
虚拟的
万博手机登录网业务参加：
等离子体技术
牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
Cobra®ICP蚀刻源在低压下产生高密度的反应物种。基片直流偏压由射频发生器独立控制，允许根据工艺要求控制离子能量。
狗万正网地址牛津仪器'PlasmApro 100 Process模块提供了一个200mm平台，具有单晶片和多晶片批量功能。该过程模块提供出色的均匀性，高吞吐量和高精度过程。
通过腔室向基板提供反应性物种，通过腔室具有均匀的高电导路径- 允许在保持低压的同时使用高气流
可变高度电极-利用等离子体的三维特性，并在最佳高度容纳高达10mm厚的衬底
宽温度范围电极(-150°C ~ +400°C)，可通过液氮、流体循环冷水机或电阻加热进行冷却- 可选的吹气和流体交换单元可以自动化开关模式的过程
由重新循环冷却器单元供给的流体控制电极- 优异的基材温度控制
RF供电的喷头，具有优化的气体输送- 提供具有LF / RF开关的均匀等离子体处理，允许精确控制膜应力
ICP源尺寸有65mm, 180mm, 300mm-提供工艺均匀度高达200mm晶圆
高泵送能力- 提供宽处压力窗口
晶圆夹紧他背面冷却- 最佳晶片温度控制
狗万正网地址牛津工具致力于提供全面，灵活可靠的全球客户支持。我们在整个系统中提供优质的服务。
煤气套装- 掺入额外的气体管线并允许更大的灵活性
Logviewer软件-数据记录软件允许实时绘图和运行后分析
光端点检测器-实现最佳过程结果的重要工具
软泵-允许缓慢抽真空室
涡轮分子真空泵-提供卓越的泵送速度和更高的吞吐量
X20控制系统- 提供未来的证明，灵活可靠的工具，系统的“智力”增加
先进的能量求发电机- 提供更高的可靠性和更高的等离子体稳定性
自动控制-该控制器确保非常快速和准确的压力控制
双cm仪表切换-通过一个压力控制阀，可以使用两个不同量程的电容压力计
LN2 autochangeover单位- 使台式冷却流体自动切换在液氮（LN2）和冷却器流体之间
TEOS液位传感- 使用安装在Teos罐的超声电平传感器实现了电平传感
宽温度范围电极- 显着的设计改进，以提高流程性能
©O狗万正网地址xford Instruments 2021