地点：
法国格勒诺布尔
万博手机登录网业务参加：
血浆技术，纳米科学
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Cobra®ICP蚀刻源在低压下产生高密度的反应物种。基片直流偏压由射频发生器独立控制，允许根据工艺要求控制离子能量。
狗万正网地址Oxford Instruments的PlasmaPro 100工艺模块提供了一个200毫米平台，具有单晶片和多晶片批处理能力。工艺模块提供优良的均匀性，高吞吐量和高精度的工艺。
通过均匀的高电导通道将反应物质传递到衬底-在保持低压的同时，允许使用高气体流量
变量高度电极-利用等离子体的三维特性，并在最佳高度容纳高达10mm厚的衬底
宽温度范围电极(-150°C ~ +400°C)，可通过液氮、流体循环冷水机或电阻加热进行冷却- 可选的吹气和流体交换单元可以自动化开关模式的过程
由循环冷水机组供给的流体控制电极- 优异的基材温度控制
RF供电的喷头，具有优化的气体输送- 提供具有LF / RF开关的均匀等离子体处理，允许精确控制膜应力
ICP源尺寸有65mm, 180mm, 300mm-提供工艺均匀度高达200mm晶圆
高的泵送能力- 提供宽处压力窗口
夹紧晶片，背面冷却-最佳晶圆温度控制
狗万正网地址牛津仪器致力于提供全面、灵活和可靠的全球客户支持。我们提供优质的服务贯穿您系统的整个生命周期。
煤气套装- 掺入额外的气体管线并允许更大的灵活性
Logviewer软件-数据记录软件允许实时绘图和运行后分析
光端点检测器-实现最佳过程结果的重要工具
软泵-允许缓慢抽真空室
涡轮分子真空泵-提供卓越的泵送速度和更高的吞吐量
X20的控制系统-提供了一个未来的证明，灵活和可靠的工具，增加了系统的“智能”
先进的能量求发电机-提供更高的可靠性和更高的等离子体稳定性
自动控制-该控制器确保非常快速和准确的压力控制
双cm仪表切换-通过一个压力控制阀，可以使用两个不同量程的电容压力计
LN2 autochangeover单位-使表冷却液自动切换液氮(LN2)和冷水机流体
TEOS液位传感-使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感
宽温度范围电极- 显着的设计改进，以提高流程性能
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