氧化锌(ZnO)是一种宽带隙II-VI半导体。它应用于led万博电脑网页版登录和透明导电氧化物(TCOs)。
它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)和活性离子蚀刻(RIE).氧化锌可通过原子层沉积(ALD).
该工艺具有良好的表面质量和均匀性,低损伤蚀刻。
高材料质量,通过掺杂和等离子体暴露将电阻率从半导体调整为导电。