氧化钒（VOX）存在于各个相中，可以控制其化学计量，使其表现出高温的抗性（TCR）。该属性使红外探测器/热摄像机中使用的钻孔器有用。
它可以存放使用离子束沉积（IBD）。
工艺结果高度可重复，具有优异的厚度和TCR均匀性。
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