二氧化钛

二氧化钛（TIO2）根据哪种形式的散装材料的折射率为2.488、2.583或2.609。它可以用于镜子或过滤器的光学涂料中。此外，TIO2可以具有高介电常数，可以用作生物相容性材料，用作耐腐蚀层，并且具有光催化特性。

锡可以使用原子层沉积（ALD）或者离子束沉积（IBD）并蚀刻使用电感耦合等离子体（ICP）。

二氧化钛

高度各向异性轮廓。
小面积倾斜蚀刻也可能。

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高材料质量和低伤害，即使在低沉积温度下也是如此。
此外，在使用底物偏置选项时挠性可以调整属性。

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