硝酸钛（TIN）是一种极其坚硬的陶瓷材料，它用于半导体设备作为屏障材料。由于其折射率（RI），因此在光学涂层中应用于镜子和过滤器。锡可以使用原子层沉积（ALD）或者离子束沉积（IBD）并蚀刻使用电感耦合等离子体（ICP）。
高材料质量，即使在低沉积温度下也是如此。
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