牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
扩大

氮化钽(TaN)

氮化钽(TaN)可以用作铜或其他导电金属和绝缘绝缘体薄膜(如热氧化物)之间的阻挡层。使用时可沉积TaN原子层沉积(ALD)或蚀刻使用离子束蚀刻电感耦合等离子体(ICP)而且反应离子蚀刻(RIE)

在ICP 请求更多的信息
更多关于IBE 请求更多的信息
更多关于RIE 请求更多的信息
更多关于“肾上腺脑白质退化症” 请求更多的信息

相关产品