硅锗（SIGE）可用于制造异质结双极晶体管（HBT）或CMOS设备。Sige可以使用电感耦合等离子体（ICP）并使用血浆增强化学蒸气沉积（PECVD）。
出色的各向异性。
在温度> 500的温度下可能oC可以使用不同的化学物质：用GEH纯净和稀释的硅烷4。
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