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钌

钌（ru）在屏障层和万博电脑网页版登录金属电极中具有应用，可以使用原子层沉积（ALD）。它可以使用电感耦合等离子体（ICP）和反应性离子蚀刻（RIE）。

  • 晶圆尺寸：最多200mm
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