多晶硅（Polysi）是Si的多晶形式。它是高纯度，广泛用于光伏（PV）设备的制造。Polysi可以使用血浆增强化学蒸气沉积（PECVD）。它可以使用电感耦合等离子体（ICP）和反应性离子蚀刻（RIE）。
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