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Polymethl丙烯酸甲酯(PMMA)，又称亚克力，是一种透明的热塑性塑料，常在电子束光刻中用作阻光罩。
热压印是一种简单的微结构复制方法。在真空下，模具被压入加热的热塑性聚合物中。对于金属结构的后续电铸，必须去除基材和模具之间不可避免的残留聚合物层，这可以通过使用等离子处理实现电感耦合等离子体(ICP)或反应离子蚀刻(RIE)．
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