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铌酸锂

铌酸锂(LiNbO3.用于表面声波(SAW)和通信工业中使用的相关设备。LiNbO3.而与之相关的薄膜则可采用干法蚀刻电感耦合等离子体(ICP)的过程。

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酸锂

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