氧化铟锡(ITO)作为透明导电氧化物(TCO)被广泛万博电脑网页版登录应用。设备示例有:太阳能电池，触摸屏触点和液晶显示屏电极。可干蚀刻使用活性离子蚀刻(RIE)或电感耦合等离子体刻蚀(ICP)并且可以溅射使用离子束沉积(IBD)．
ITO可使用离子束沉积(IBD)．一些流程的好处包括:
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