类碳钻石是一种非晶态碳,与sp2键相比,sp3键的组成更高。这给了它一些类似于金刚石的特性,如硬度,使它非常有用的抗磨涂层。击穿电压高,适用于各种功率器件。它被沉积使用活性离子蚀刻(RIE)制版或蚀刻在同一工具上用不同的工艺。