钻石加工

钻石提供了一组特性，使其成为广泛应用程序的有趣选择。万博电脑网页版登录它具有最高的已知热导率，这使得它对散热具有吸引力，化学上不反应，是已知的最硬的材料。它还具有宽(5.5eV)间接带隙，这意味着它具有高击穿电压。它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)，活性离子蚀刻(RIE)或离子束蚀刻．

作为基材为高电力设备它坚固、轻便，能够比任何其他材料更好地从活性区域传递热量，同时耐受高施加电压。
它是硅的合适替代品MEMS设备其中磨损和生物相容性是一个问题，可以与AlN等压电材料结合形成高频声表面波器件。它的光学吸收在可见光谱上很低，这与高折射率相结合，使其可用于波导等应用。万博电脑网页版登录
量子信息处理的主要候选者，其中NV中心可以被询问以提供关于量子态的信息。

良好的表面形貌控制。

晶片尺寸:最大可达200mm
- 产品尺寸:PlasmaPro 100

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晶片尺寸:最大可达200mm
- 产品尺寸:Ionfab300

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工艺实现了各向同性的轮廓和光滑的表面。

晶片尺寸:最大可达200mm
- 产品:PlasmaPro 100

更多关于RIE 索取更多资料

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