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苯并二烯

苯并二烯（BCB）在制造ME万博电脑网页版登录MS设备和晶圆粘结中有应用。它可以使用电感耦合等离子体（ICP）或者反应性离子蚀刻（RIE）。

  • 晶圆尺寸：最多200mm
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