黄金(Au)具有良好的导电性和极强的耐腐蚀性，这使得它对电气连接和接触具有吸引力。它可以溅射蚀刻离子束腐蚀(IBE)或通过活性离子蚀刻(RIE)它也可以用高温蚀刻电感耦合等离子体(ICP)提供光滑，垂直的蚀刻剖面。它可以存放使用离子束沉积(IBD)．
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