氧化铝

艾尔₂O_3.蓝宝石有许多不同的应用。万博电脑网页版登录从hbled的Patterned Sapphire Substrates (PSS)， GaN HEMTs的栅介电层，耐磨涂层和阻挡层，它的硬度和电学特性使其成为首选材料。可存入使用原子层沉积或离子束沉积(IBD)．它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)和活性离子蚀刻(RIE)．

可以干蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)过程的技术。等离子体密度高，对硬质材料的蚀刻率高。有图案的蓝宝石衬底(PSS)使用工艺专业知识来演示良好的热控制，并实现最佳的功能高度和卓越的CD控制。

晶片尺寸:150毫米
批处理大小:6 x2”
- 产品:PlasmaPro 100＆100年PlasmaPro北极星

图案蓝宝石衬底(PSS)蚀刻

有图案的蓝宝石衬底(PSS)使用工艺专业知识来演示良好的热控制，并实现最佳的功能高度和卓越的CD控制。

晶片尺寸:100毫米和150毫米
- 产品:100年PlasmaPro北极星

在ICP 请求更多的信息

倪蒙面艾尔₂O_3.特性。

图案蓝宝石衬底(PSS)蚀刻

优异的化学计量学和竞争沉积速率。可用蚀刻源进行预清洁。

晶片尺寸:200毫米
- 产品:Ionfab 300

在炎症性肠病请求更多的信息

光洁的蚀刻表面和良好的蚀刻深度控制。

晶片尺寸:200毫米
- 产品:PlasmaPro 100

更多关于RIE 请求更多的信息

优异的材料质量和低损伤，即使在低沉积温度。

晶片尺寸:200毫米
- 产品:蛋白石＆FlexAL

更多关于“肾上腺脑白质退化症” 请求更多的信息

80 nm远端等离子体ALD Al的扫描电镜图像₂O_3.由埃因霍温科技大学和恩智浦提供，在FlexAL反应器中沉积2.5 mm宽、纵横比~10的沟槽中的薄膜。

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