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铝

铝（Al）是硼基中的非磁性延性金属。Al在金属互连万博电脑网页版登录中具有应用，还用作某些材料的固定罩。Al和相关膜可以使用电感耦合等离子体（ICP）或使用离子束沉积（IBD）技术。

流程收益

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