非晶硅沉积

非晶硅（A-Si）作为半导体是用于光伏技术的最广泛的材料，即。太阳能电池。它还用于液晶显示器（LCD）中的薄膜晶体管。可以使用a-si使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电感耦合等离子体CVD（ICP-CVD）

非晶硅

均匀的薄膜沉积，低应力。可能与PH掺杂_3.和B₂H₆

单一晶片尺寸:300毫米
批量大小：5 x2”
- 产品:100年PlasmaPro眼镜蛇

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均匀的薄膜沉积，低应力。可能与PH掺杂_3.和B₂H₆

单一晶片尺寸:200毫米
批量大小：高达9x2“，4x3”
- 产品:PlasmaPro 80＆等离子体Pro 100
单晶片尺寸:高达300mm
批量大小：可达43x2"， 19x3"， 10x100mm, 7x120mm, 4x150mm, 2x200mm
- 产品:PlasmaPro 800
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