白皮书
基于GaAs的VCSELs中mesas的高产率制造

目前来自光互连、激光雷达技术或人脸识别的需求正在推动VCSEL行业更快地增长。VCSEL制造在全球范围内迅速扩大，VCSEL制造工艺必须实现更高的产量和质量。万博电脑网页版登录应用，如3D传感，专注于最大功率转换与vcsel阵列，以获得更高的组合输出功率。在阵列中，不同激光的阈值电流和微分量子效率必须是一致的。这需要很好地控制外延，也需要很好地控制台面的形状。随着阵列密度需求的增加，对均匀性、线宽和纵横比提出了挑战。
凭借强大的工艺专业知识和广泛的设备理解，牛津仪器等离子技术公司开发了先进的等离子体处理解决方案，以提供VCSEL市场所需的设备性能和产量狗万正网地址。

在本白皮书中，我们将重点介绍如何最好地控制晶圆尺寸达150mm的台面几何形状。我们回顾了在精确控制台面深度的情况下实现锥形或垂直剖面的关键要求。