白皮书
高功率VCSEL阵列的干蚀刻

VCSEL技术3万博电脑网页版登录D传感中的某些应用需要比数据通信应用更高的功率操作。结果，根据所需的组合输出功率，有一个驱动力来产生高功率VCSEL阵列的尺寸和密度不同。

但是，在产生高功率阵列时，VCSELS之间的成本控制和热串扰等多个挑战。此外，在VCSEL的制造过程中也出现了挑战。随着阵列的密度增加，更好的过程控制对于提供性能和成本至关重要。

通过结合强大的流程专业知识和深入的设备理解，牛津工具等离子技术开发了先进的等离子体处理解决方案，以实现当前和未来的VCSEL设计。狗万正网地址

在此白皮书中，您可以学习：

• 如何通过150mm晶圆的过程优化来控制成本
• 如何改善高功率VCSEL中低发射器间距的过程结果
• 基础对设备性能的影响