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扩张

白皮书
量子装置的原子层沉积

随着晶体管产生信息时代,量子技术有可能成为下一个大的飞跃。量子技术是Quantum物理用于现实世界应用的应用,例如量子计算,传感,导航和通信。万博电脑网页版登录

用于沉积超导体的常规方法包括溅射,脉冲激光沉积(PLD)和化学气相沉积(CVD)。然而,这些方法可以遭受缺点,包括缺乏厚度控制,均匀性差和高杂质含量。

原子层沉积(ALD)对薄膜沉积具有更有益的薄膜沉积,其能够生产具有高纯度,精确的厚度控制,高纵横比结构的共形涂层的薄膜,以及大面积基板的均匀性。

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作者

Mark Dineen博士
等离子技术技术营销经理

伤害伤害痛苦
等离子技术的原子尺度分部专家

Tania Hemakumara博士
等离子技术的产品开发工程师