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用于功率转换和传输的新型氮化镓电力电子产品正在开发中。在电动和混合动力汽车(EV和HEV)等电动交通工具中，这些设备正变得越来越重要，设备成本和效率对它们的成功至关重要。氮化镓的高迁移率和高击穿电压使其成为理想的功率器件材料。
特别是，发生在AlGaN/GaN界面的二维电子气体允许非常有效的器件。然而，AlGaN层需要栅极上的负电压来关闭。这种“d模式”或“正常开启”设备不符合故障安全设计标准，因此有强大的动力开发“e模式”或“正常关闭”设备。
有几种策略来创建这样的器件，使用AlGaN的凹槽蚀刻是一个突出的策略。此外，还需要栅极介质层来限制泄漏电流。
马克Dineen博士
牛津仪器等离子技术市场部经理狗万正网地址
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