目前基于聚合物的增强现实(AR)眼镜由于其折射率(RI)正达到一个视野的上限。目前使用的树脂的n≤1.9,进一步提高这一点似乎是一个重大障碍。含有n> 2的玻璃基材和涂层已经很容易获得,如ZrO2和TiO2因此,它们是当前技术的可行替代品。
在二元或斜波导中蚀刻这些材料需要开发新的工艺和使用更新颖的技术。在本次网络研讨会上,William Frost博士将演示基于薄牺牲层树脂的纳米压印光刻技术可用于TiO的倾斜蚀刻掩模2波导,使用反应离子束蚀刻(RIBE)。此外,我们证明了这一过程可以转移到其他高RI材料,如玻璃。这项工作是基于与EV集团合作完成的工作1.
1) M. Eibelhuber等,“利用纳米压印光刻技术实现折射率2.0的AR波导”,Proc. SPIE 11765,增强、虚拟和混合现实(AR、VR、MR) II中的显示和传感光学体系结构,117650H(2021年3月29日);doi: 10.1117/12.2579505
William Frost博士毕业于约克大学,获得了“用于cppgmr器件的Heusler合金薄膜的垂直各向异性”的博士学位,之后他继续在该大学进行材料研究并担任讲师。他于2020年加入O狗万正网地址xford Instruments,担任工艺工程师,使用RIE、ICP和离子束蚀刻等技术进行III-V材料、金属和氧化物的蚀刻。威尔拥有丰富的经验与沉积,蚀刻和分析广泛的材料的许多应用。万博电脑网页版登录
万博电脑网页版登录应用工程师,在他过去担任大学讲师时,曾向不同的观众传达复杂的技术思想和科学概念。在牛津仪器等离子技术公狗万正网地址司工作,提供一系列强大的系统,支持各种各样的蚀刻和沉积应用。万博电脑网页版登录这些包括ALD, ALE, CVD, ICP, PECVD和RIE。