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网络研讨会
高质量量子器件的制造工艺


简介

量子器件对其量子特性的丧失异常敏感。改进的器件制造工艺可以减轻这些损失。牛津仪器等离子技术公司与量子社区密切合作,提供解决方案,以最大限度地减少器件处理过程中产狗万正网地址生的损失。

在本次网络研讨会中,我们将回顾以下技术在创造更好的超导、彩色中心(金刚石/SiC)和光子量子器件方面的应用:

  • 量子比特(NbN和TiN)超导材料的原子层沉积(ALD)。
  • 用于TSV的硅深度反应离子蚀刻(DSiE),以实现量子电路的3D集成。
  • 活性离子蚀刻(RIE)用于NV中心的平滑金刚石减薄。
超导量子比特
量子光子学集成电路

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与主讲人见面

Russ Renzas博士

Russ Renzas博士

量子技术市场经理,牛津仪器等离子技术狗万正网地址

Russ在牛津仪器的等离子技术小组专门研究量子技术。狗万正网地址他促进合作,利用牛津仪器的工艺专业知识,帮助我们的合作伙伴开展世界级的研究。狗万正网地址

Russ的经验包括在超导量子计算初创公司Rigetti Computing指导设备制造,以及在银纳米线初创公司领导计量、故障分析和基本理解。他还曾担任普林斯顿校友天使的交易负责人,并与人合著了超过15篇同行评审期刊文章,被引用近3000次。Russ拥有普林斯顿大学电气工程学士学位,并在加州大学伯克利分校获得物理化学博士学位。Russ目前在内华达州里诺市工作,他也是内华达大学里诺分校的兼职教师。

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