PTIQ是PlasmaPro和Atomfab加工设备的最新智能软件解决方案。
在本次网络研讨会中,我们将向您展示升级系统控制软件的好处,并展示PTIQ的主要功能,包括显示选项;维护;配方创建和数据分析工具。
什么时候可以?
PTIQ现已上市。
自2020年2月以来,系统已经报价,正在建造,并与PTIQ一起出厂。目前,我们约75%的产品线正在使用PTIQ,这意味着PlasmaPro 100、80和800目前已为新软件设置。我们新的ATOMFAB系统也包括PTIQ。
为了升级到PTIQ,我们需要进行哪些硬件升级?
这将逐个进行评估,但是对于PTIQ在现有硬件上工作,我们需要一些最低规格:
如果我有一个蚀刻系统和一个沉积系统,它会是一样的吗软件和工作方式一样吗?
是的。新软件的一个重要目标是提供一致的外观和感觉,并找到操作所有系统所需的共同操作。
会有一些显著的差异,但它们与所涉及的具体技术有关。这意味着,无论模块存在于相同的集群配置中,还是作为两个单独的单一模块工具并排存在,软件都将完全相同。
这对集群系统有效吗?
PTIQ支持我们的三个产品系列:开负载、单模块和外集群系统。所有三种类型的系统具有相同的外观和感觉,并且以类似的方式操作。
PTIQ触摸屏兼容吗?
我们在设计软件时考虑到它将通过触摸屏进行控制,确保24英寸触摸屏的活动区域至少为1厘米见方。虽然SEMI E95标准不再活跃,但它仍然有助于为半导体资本设备公司(Semiconductor Capital Equipment)制作触摸屏操作界面。
PTIQ多显示器兼容吗?
这是我们的短期路线图。我们从一开始就构建了支持双监视器的软件,但这还不能在软件中激活,因为这个功能在完成之前还需要再做一些工作。
使用现有的PC4500软件,LogViewer日志文件可以如果手动转移到另一台PC上,则可以在另一台PC上查看。如果远程用户能够更容易地访问数据文件并进行分析,这将非常有用。新软件能提供什么?
我们将很快将Datalog查看器打包为一个独立的产品,以便它可以安装在单独的PC上。我们希望使传输文件的过程更容易。
参数(例如RF)可以通过循环从开始值和结束值分级吗?
这一功能正在开发过程中,因为我们寻求支持更先进的深层硅蚀刻工艺。我们的实现在发布时将可用于所有流程模块,而不仅仅是Estrelas工具。
你们有没有这个软件的模拟器,可以安装在我们的个人电脑上进行测试或培训?
我们有一个模拟器/仿真器可以用于此目的。例如,它很好地模拟了硬件,包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。