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半导体制造是一个复杂的过程，需要精确的控制和分析来最大化器件性能。在牛津仪器，我们在多个业务部门工作，为半导体制造，表征和故障分析提供解决方案。
本次网络研讨会将展示我们如何使用蚀刻和沉积技术帮助您制造高质量的半导体器件。然后，我们将探索创新的成像和分析技术，以理解和确认设备包含所需的属性。最后，我们将介绍用于识别设备缺陷和分析设备故障的技术。
本次网络研讨会包括以下学习要点:
在这次演讲中，我们将回顾传统的基于等离子体的制造方法，并提供它们必须如何发展才能支持纳米级及以上的半导体发展的背景。我们将看看这些技术是如何变化以满足现代半导体制造技术的需求，并提出一个问题，“下一步是什么?”
x射线的能量色散谱(EDS)和SEM中的电子背散射衍射(EBSD)是不可缺少的分析技术，结合电子显微镜的成像能力，可以提供精确到纳米尺度的定量化学和结构分析。
本讲座将介绍半导体生产过程中不同步骤的相关理论、探测器和应用。万博电脑网页版登录
半导体技术节点的不断缩小对计量和失效分析工具提出了越来越严格的要求。
在这次演讲中，我们将介绍原子力显微镜(AFMs)如何用于过程控制、缺陷识别和新材料的研发。我们将演示AFMs无与伦比的亚纳米分辨率和各种电测量模式如何使其成为当前和未来设备的基本表征工具。
Geoff是一位训练有素的等离子体物理学家;白天，他是科学家、工程师和技术专家，但内心深处，他是一个发明家和创新者。他的职业生涯始于牛津大学研究用于污染控制的等离子体技术，然后是AWE Aldermaston和高能脉冲功率物理和工程，最后在世纪之交到达OI等离子体技术公司，开发用于纳米级材料和表面改性和操纵的等离子体系统。
近年来，他一直在等离子技术公司发展他的创新团队，以支持现有的产品和开发尚未到来的产品。
Keith的整个职业生涯都在材料表征方面工作，1973年他首先在富尔默研究所工作，担任研究技术员，后来在英国莱兰担任冶金学家。
1978年，他加入布鲁内尔大学实验技术中心，作为一名研究人员，研究SEM和TEM, EDS, WDS和光学显微镜，同时攻读冶金学硕士学位。1984年，他将这一经验带到了GEC赫斯特研究中心，并领导了应用电子光学集团，主要是表征半导体器件和优化制造工艺。
1994年，他加入牛津仪器分析公司，专狗万正网地址攻EBSD，包括产品管理和应用。万博电脑网页版登录
Ted Limpoco博士是牛津仪器庇护研万博电脑网页版登录究中心的应用科学家。狗万正网地址他在纳米电、纳米机械和纳米摩擦学技术方面有超过10年的AFM经验。
他曾是伊利诺伊大学香槟分校的博士后，并拥有佛罗里达大学的化学博士学位。
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