在构建VCSEL时,从外延到设计触点,制造的精确控制对于实现目标光电特性至关重要。在本次网络研讨会中,我们将讨论可靠地制造VCSEL的关键要素。基于我们在纳米制造和创建等离子体处理解决方案方面的经验,我们回顾了完整的芯片处理工作流,并解释了我们如何解决了一些挑战,以支持激光输出的精确控制。